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臺碩檢測設備（蘇州）有限公司
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以精密氣浮主軸和高精度立柱導軌
為基準，采用計算機測量系統的轉
臺式圓柱度儀
產品特點
Product features
1ASO
臺碩ili§測
®先進的補償算法，對Z軸精度進行補償
®可評定錐形柱體的輪廓度（小錐體）
© 氣浮運動軸系，精度保持長久A級儀器光學尺配合精密工作臺，確保機臺精度在2.5+L/200nm以內
® Z軸光柵計數
©關鍵件采用特殊去應力合金材料及特殊的去應力處理工藝，精度保持長久
©業內領先的高精度采集控制系統，控制系統所有電路按軍品標準設計、生產及驗收，
能在-70°C?+70°C的溫度區間內穩定工作
©模塊化設計使用戶維護成本降至低
產品技術規格
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測量范圍 |
大直徑 |
<t)300mm |
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小內徑 |
c|)3mm |
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大咼度 |
420mm （可定制） |
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主軸精度 |
徑向誤差 |
±(0.025+5H/10000)nm |
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軸向誤差 |
±(0.025+6X/10000)nm |
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工作臺 |
臺面直徑 |
0180mm |
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回轉直徑 |
0320mm |
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承載重量 |
30Kg |
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調整范圍 |
調偏心±2mm ;調水平±1° |
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旋轉速度 |
0-12轉/分 |
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水平臂 |
水平移動距離 |
160mm |
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移動速度 |
自動0.5~6mm/s,或手動控制 |
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傳感器 |
量程 |
600pm （半徑差） |
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分辨率 |
0.005pm |
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測針形狀 |
寶石球測頭 |
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測力 |
l-12g |
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回轉軸線與Z軸導軌平行度 |
2|im/300mm,母線基準 |
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立柱直線度 |
0.5nm/100mm, 0.8|im/300mm |
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數據采集 |
進口光柵7200點/周 |
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放大倍率 |
任意至大20萬倍 |
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電源 |
AC 220V±10% 50Hz |
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氣源壓力 |
0.45?0.80Mpa （氣源質量要求：常規） |
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